序号

仪器设备编号

仪器设备名称

单价（万）

型号

规格

生产厂家

主要技术指标

功能明细

实现国产化所需关键技术

1

11010690

磁控溅射系统

357.62

MS100X6-L

MS100X6-L

德国FHR公司

极限真空 ：< 1×10^-6 mbar漏率：< 3×10^-7 mbar/s； 均匀性：95 mm

4”基片的Al淀积为±3%

淀积金属薄膜电极、非金属层及压电薄膜材料

等离子体均匀性控制、衬底温控系统、真空漏率、电源类型。

2

08023814

感应耦合等离子刻蚀机

311.96

S/NO.MP0597

4英寸

英国STS公司

极限真空2×10^-6Torr，工艺A刻蚀均匀性±2.62％，角度89.68°-89.91°；工艺B刻蚀均匀性±1.78％，角度89.78°90.1°

硅的深槽刻蚀

射频电源控制技术、离子场均匀性控制、衬底温度均匀性控制

3

08023925

卧式LPCVD系统

306.50

L4110Ⅱ-3/ZM

2～4英寸

北京七星华创电子股份有限公司

淀积薄膜厚度600A-20000A,极限真空优于1Pa,淀积薄膜片内均匀性：Si3N4±3%；多晶硅±4%，SiO2±3%

淀积多晶硅、二氧化硅、氧化硅等薄膜材料

工艺真空度及漏率控制、膜厚均匀性控制、温度均匀性及精度控制

4

08023811

双面光刻机

179.64

MA6/BA6

4英寸

德国SUSS公司

分辨率1μm，正面对准精度0.5μm，背面对准精度1μm

MEMS加工工艺的图形转移及键合对准

高精度成像，精密机械控制，位置传感等

5

11061082

PECVD100等离子增强化学气相淀积系统

172.92

PECVD100

PECVD100

FHR    Anlagenbau GMBH

loadlock：极限真空< 1x10-3 mbar;抽真空两小时后测得的漏率为3x10-6   mbar/s; 工艺腔室：抽真空两小时极限真空<6x10-6 mbar ;抽真空两小时后测得的漏率为1x10-5 mbar/s; 温控范围80°C - 500 °C，温控精度：   +/- 0,5 °C；

生长低应力薄膜SiO2、Si3N3及a-Si膜层

工艺腔室真空度、工艺气体流量均匀性控制、衬底温度均匀性控制

6

12009186

飞秒激光器及附件

166.48

Integra-HE

Integra-HE

Quantronix Corporation

1中心波长: 800nm ±10。 2重复频率: 1kHz单次。 3单脉冲能量:  ≥7mJ@1kHz。 4单脉冲宽度： <150fs 5前脉冲对比度:  >1000:1。 6后脉冲对比度:    >100:1。 7稳定性:   <0.5%rms over 8 hours。 8空间模式: TEM00(M2<1.3)。 9光束直径: <8mm。 10偏振: 线偏振。 11 遥控操作。 12一体化放大系统（一个机箱）。

飞秒激光微加工系统由飞秒振荡器、飞秒放大器、放大器泵浦激光、电源控制器、制冷机、控制电脑等构成。 建立一个以飞秒激光器为主要设备的微加工、非线性光学、太赫兹波的综合实验平台。

微加工、非线性分析、太赫兹技术等

7

08023815

键合机

133.31

SB6e

4英寸

德国SUSS公司

极限真空5×10-5mbar，对准漂移≤3μm

将不同的衬底键合在一起，可进行硅/玻璃阳极键合、共熔、热压以及制备SOI材料等

精密机械，温度、电压控制

8

06023911

面阵探测器

102.50

Paxscan 2520

像素尺寸127μ

美国Varian公司

射线接收屏尺寸24.4×19.15cm,像素尺寸12m2,能量范围70--1000kv,极限分辨率3.94lp/mm

x射线成像

探测采集、图像重建

9

16004601

扫描电子显微镜

96.63

EVO18

EVO18

卡尔蔡司管理公司Carl Zeiss Microscopy Ltd

1. *高真空分辨率：3.0nm@30kV；

2. *放大倍率：最大1,000,000倍；
  3. *电子束流：2uA
  4. *探测器：高真空下高效率二次电子探测器
  5. *真空度：低真空空气浓度不小于300Pa；
  6. *样品室大小：真径大于180mm，能同时放多个样品；
  7. *灯丝寿命：不低于100小时。

材料进行表征和测试

10

13019403

硅基微结构激光三维成型系统

93.61

FemtoLAB

0.1um

Work of photonics

A. 行程：XYZ=50*50*25mm B. 位移精度：0.1um C. 全行程准确度：±1um D. 最大速度：50mm/s E. 最大载荷：3kg F. 重复精度：±0.75um G. XYZ垂直性：5 arc sec H. 位置稳定性：±0.1um I. 集成样品架：是

在X,Y,Z三个方向上分别利用聚焦飞秒激光束进行热加工，完成CAD制图图样，本系统带由图像设计软件和激光加工在线监测系统，可以在电脑屏幕上观察加工过程，并对加工样品进行显微测量

配合飞秒激光使用

11

16003386

超高真空有机/无机热蒸发镀膜系统

63.90

QX-300

*

成都齐兴真空镀膜技术有限公司

真空度：本底真空在离子泵工作3小时内优于1 x 10-6 Pa
  单面双工位手套箱:水含量≤1ppm；*氧含量≤1ppm

主要用于光电工程学院全院研究生以及部分本科生的教学及演示实验和用于科研的：氩、氧等离子体处理；功能有机薄膜生长；功能无机薄膜生长；原位发光光谱测量；样品封装等。

12

12004191

Pt靶

63.56

Φ148.6*5mm

4英寸

有研亿金新材料股份有限公司

Pt-靶, 99.99%, 148.6 mm 直径 x 5 mm 厚度, 绑定在铜背板上，适用于SC153 DC/RF

作为半导体加工的电极材料及压阻材料使用

无空洞焊接技术及焊接质量检测技术

13

05020192

实时仿真系统

57.44

DS1005

DSPACE SIMULATION SYSTEM with accessories

德国dspACE公司

PowerPC750GX, 1GHz,6路功率放大单元和模拟输出，32路智能I/O系统，完全兼容SIMULINK编程。

控制系统开发与半实物仿真

Simulink模块编写和模型编译技术，高速数据采集\输出接口技术，高速处理板卡技术和UI交互操作技术

14

14007589

半导体测试系统

55.23

4200SCS

4200SCS

美国keithley公司

1） 数量为4个；4个SMU的电流测量分辨率均可达0.1 fA；最大电流 ≥100 mA，测量精度可达10 fA； 2） SMU具有VSU（只加电压而不测量）以及VMU（只测电压，类似福特表）功能； 3） 最大电压源≥210 V，电压源设定最小分辨率至少为5 ？V； 4） 系统电容-电压（C-V）单元技术指标： 5）   频率范围：1KHz-10MHz ，偏置电压 ：±60V； 6） 在脉冲发生器模式下，最小脉宽为10ns@10V，50ns@40V；可以输出任意波形； 7） 在脉冲I-V模式下，测量Id-Vg参数的最小脉宽为60ns@10V，140ns@40V； 8） 最大脉冲电流测量量程≥800mA，电流测量分段量程：100nA，1μA，10 μA，100 μA，1mA，10mA，200mA，800mA； 9）   电流测量精度：0.5%+1nA； 10） 可测量偏压温度不稳定性（bias temperature instability），包括NBTI、PBTI，在应力去除后30ns内测量BTI衰减；可设定应力设定条件； 11） 具备NBTI和PBTI测试软件库，支持单点Id（单点是一个脉冲），在线测量（on-the-fly），或者Id-Vg扫描测试法 12） 可测量time-dependent   dielectric breakdown （TDDB），并带有相应软件。 2. 半导体特性分析系统主机具备计算机配置： CPU主频>2GHz，硬盘容量>120GB,带刻录CD驱动器，4个USB接口，内置100/10 MB以太网络接口，12英寸液晶显示器, Windows 7操作系统，可以外接显示器。 3. 探针台卡盘或台面可提升高度≥4mm.  4. 常规卡盘部分： 1） 卡盘尺寸：6英寸 2）   吸附方式：真空吸附 3） 卡盘材质;不锈钢

用于实验室级的器件直流参数测试、实时绘图与分析，具有高精度和亚fA级的分辨率。它提供了最先进的系统集成能力，包括完整的嵌入式PC机、Windows XP操作系统与大容量存储器。其自动记录，点击式接口加速并简化了获取数据的过程，这样用户可以更快地开始分析测试结果, 用于检测半导体器件的电学参数和特性. 测量半导体材料或器件以及或其它相关材料、器件的IV、CV特性或其它电学参数。

无

15

07020736

X射线管机及探测系统

48.77

LINX1404

管电压450KV

英国ETL公司

空间分辨率1.5~2.5lp/mm，密度分辨率0.1~0.5%，图像矩阵512*512~4096*4096，成像功能DR/CT/3D

产生X射线，穿透受损物体后成像，达到检测物体内部缺陷的目的，三维表面，体积测量

辐射防护，探测采集

16

03002300

示波器

47.34

WAUE PRO7300

2GHz，4通道示波器

美国力科公司

在1、2通道或1通道上20GS/s,存储深度4Mpts；四通道同时使用为10GS/s,存储深度2Mpts/Ch

电信号测量

无

17

06012076

半导体参数分析仪

46.44

AGILENT4156C

AGILENT4156C

美国安捷伦

测试精度：3μV/200V,1fA/1A

仪器可用于半导体芯片，器件的微电流，电容等参数的测试

半导体器件性能参数高精度测量技术

18

10010183

射频等离子干法刻蚀机

44.83

M4L

2～6英寸

德国普发拓普公司

工艺真空度：30mtorr,漏率：<E-4mTorr/min

硅片表面活处理

等离子体的均匀性控制

19

03004240

综合电量测试系统

44.47

NI-PXI

NI-PXI-8176

美国NI公司

NI PXI电量综合测量系统。可以对各类电信号进行数据采集，并通过GPIB等与计算机连接，通过Labview编程实现数据采集系统的控制、数据获取与处理。并可以通过可扩展的测试模块增加系统功能。

综合电学测量系统相关技术、模块化仪器软硬件设计

20

06014353

线性探测器

43.92

16310-1 16310 16310

深度6mm

OSI octoelectronic.inc

间距1.57mm，16通道

X射线成像，高动态范围

探测采集

21

08023812

石英管清洗机

43.00

SDX-6225B

SDX-6225B

中国电子科技集团公司第二研究所

温度可控，25~150℃，温控精度：±2℃

光刻显影、去胶、轻化学腐蚀，重化学腐蚀，盐酸、硝酸、硫酸、磷酸清洗硅片及石英管清洗

循环过滤加热

22

11061161

双轴速率位置转台

43.00

2TS-450

2TS-450

九江精密测试技术研究所

承载能力，台体指标，测控系统，方位调整范围，可靠性要求，功能要求

双轴速率转台是一种多功能仿真测试设备。它可以按照实验要求，提供飞行器飞行时的航向角、俯仰角及飞行扰动，实时模拟飞行器在空中飞行的姿态;也可以作为火炮跟踪平台对特定目标进行轨迹跟踪。具有位置、速率、摇摆、伺服等功能，能满足飞行器携带的惯性系统及惯性元器件的部分功能测试和实验。该转台采用工业控制计算机进行操作控制，具有高精度的定位能力、速率平稳、操作失真度小及良好的动态特性。

23

10011181

2吨电动振动试验系统

41.50

MPA406/M232A

UCON-8

北京航天希尔测试技术有限公司

正弦推力2200kgf，随机推力2200kgf，允许偏载力矩N×M﹥500，荷载连接点16个，频率范围2~3000Hz，最大荷载300kg，最大速度2m/s

用于模拟电工、电子、汽车零部件以及其它涉及到运输的产品和货物在运输过程中的环境，检测其产品的耐振性能

国产设备

24

08011562

激光测振仪

40.98

OFV-505/5000

DD-200

德国POLYETC公司

频率： DC to 20MHZ；速度：<1μm/s to 30m/s;加速度：1,000,000g 以上；振幅：0.1A  (100KHz) to 10m above；测量方便快捷。

速度测量、位移测量非接触,附加质量影响；抗干扰能力强,可现场应用;极大的动态范围和高精度；

激光测距技术

25

05010345

仿真系统

40.84

ACE KitWithDS1103CLP

CAN1103BS

德国DSPACE公司

±10V input voltage range16通道16位AD采样，4通道12位AD采样，8通道14位DAC输出

技术系统开发与半实物仿真

DSP技术、计算机仿真技术、数据采集技术

26

12001226

增强型数字耦合相机

40.07

PI-MAX 1K HQf-43-filmless

e2v CCD47-10/18mm - Gen III

Princeton Instruments公司

Image sensor: e2v CCD47-10 scientific   grade, MPP front-illuminated CCD CCD format: 1024 x 1024 imaging pixels/13 x   13-？m pixels/13.3mm x   13.3mm  System read noise: 6 e- rms（典型） Intensifiers available: 18mm - Gen III

极微弱光探测

核心CCD成像元器件；超低信噪比成像算法等

27

14009248

超连续谱光源

38.95

Super EXTREME EXW-12

4.5W

丹麦 NKT Photonics

1、光谱范围：450~2400nm； 2、总输出功率：4.5W; 3、可见光功率：1200mW; 4、重复频率：78MHz; 5、种子源脉宽：~5ps; 6、总功率稳定性：+/-1.5%(+/-0.5% with Power Lock); 7、激光模式：单模TEM00; 8、偏振模式：非偏振光； 9、发射角：<5弧度； 10、输出方式：宽带准直输出、光纤输出； 11、信号输出：外部输出触发，BNC连接； 12、控制界面：前面版控制，USB连接； 13、电源选项：100-240V，50/60Hz;

高分辨率成像和诊断技术，如光学相干断层扫描（OCT)、共聚焦显微镜、受激拉曼显微镜（CARS, SRS)等；光学计量，如宽带特性光学部件的透明度、双折射等；光谱学，如椭圆、光谱成像、腔衰荡等。

根据需要光路的搭建以及测试等

28

14009152

超高频数字锁相放大器

38.28

UHFLI

600MHZ

苏黎世仪器公司

UHF信号输入指标   频率范围 DC-600MHZ 输入阻抗5Ω或1MΩ A/D 12BIT 1.8GS/S UHF信号输出指标 频率范围DC-600MHZ 输出范围±150mv ±1.5v 参考信号 频率范围 10hz-600MHZ 调解器 频率范围1mhz-600mhz 辅助信号 高速输出4通道，±10v，振幅相位频率自定义

微弱信号测量的关键设备用于各类光电信号检测，仪器具有标准化输出输入接口，可以与其他设备组合进行信号探测

29

14010405

网络分析仪

37.87

E5061B

5Hz-3Gz

安捷伦科技有限公司

设备性能主要技术指标： 1、提供S参数测试端口（5Hz到3GHz），以及增益相位测试端口（5Hz到30MHz） 2、包含直流偏置源（0到±40Vdc最大值，100mAdc可扫描） 3、提供阻抗分析功能及测试夹具 4、提供时域分析、故障定位分析功能

低频网络分析功能、阻抗分析功能、时域分析功能、故障定位分析功能

30

10010742

激光光散射仪

37.02

BI-200SM

*

美国布鲁克海文仪器公司

1.粒度范围：1nm-6um
  2.分子量范围：500～109Dalton
  3.分子大小范围：10～1000nm
  4.角度范围：8-162°,±0.01°
  5.温控范围：-20 ～ 80℃（选件-20 ～ 150℃），± 0.1℃
  6.滤光片轮：632.8nm, 532nm, 514.5nm，488nm
  7.孔径轮：100 um,200 um,400um,1 mm,2 mm,3mm

动态光散射与静态光散射

激光和光电倍增管

31

12003991

激光测振仪

35.06

OFV5000/505/

VD-09/DD-900

Polytec Vibrometer公司

NV-2905激光多普勒测振仪使用先进的非接触动态干涉技术，用于精确测量物体的振动速度和位移。它可以外接普通显微系统实现为小物体,通过望远系统实现长距离的测量。

采用压电式加速度传感器，把振动信号转换成电信号，通过对输入信号的处理分析，显示出振动的加速度、速度、位移值，并可用打印机打印出相应的测量值。

使用先进的非接触动态干涉技术，用于精确测量物体的振动速度和位移。

32

09020009

箱式真空镀膜机

35.00

ZZS550-Z/G

*

成都南光机器有限公司

真空度：3×10-4Pa,工艺温度：120℃，高压：8KV

电子束蒸发，水冷式电阻蒸发，极限真空，烘烤装置，PLC控制、石英晶体膜厚检测

工艺真空度及漏率控制、温度控制、旋转控制

33

03008287

微机电系统测量及微操作系统

34.70

MEMS

*

哈尔滨工业大学

XYZ三自由度操作臂平台：XYZ方向行程30mm，分辨率1μm，重复定位精度0.5μm。XY旋转三自由度工作台：XY方向行程70mm，分辨率1μm，重复定位精度0.5μm；旋转行程360°，分辨率0.04°，重复定位精度0.01°。 激光共焦位移计：测量范围：±300μm，测量分辨率：0.1μm。

微装配功能、表面形貌测量、粗糙度测量、器件沟道等的宽度、深度测量

高精度机器人控制技术

34

14007591

低温探针台

34.70

CG-196-200

CG-196-200

美国keithley公司

10. 变温探针台： 1） 温控单元 2） 温度调节范围： 77K-480 K (-196℃—200℃) ；温控精度: ≤ 0.1度 3） 温控方式; 液氮降温，比例积分微分控制器控制加热升温 4） 载物台直径：40mm*40mm。 5） 真空仓真空度： 10-3torr 6） 真空泵可提供排气过滤作用，以避免污染客户的环境。所有框架采用焊接方式保证坚固的结构 7） 真空仓外置全封闭四探针臂，保证真空仓内密闭环境，且可在外部方便操控探针臂来控制真空仓内探针位置。 8） 探针臂移动范围： 25mm*25mm*25mm 9） 探针臂移动精度≤ 10 um  10） 探针臂保证线性无回差运动 11） 显微镜X-Y轴移动范围：1英寸x 1英寸 12） 放大倍数（至少为）：16X—100X    13） 变温测试精度不大于10 PA 14） 直流探针漏电流小于100 fA。 15） 数字图像采集系统。可以直接从显微镜上采集图像。 16） 图像分析软件，可以对采集图像进行测绘分析。 17） 液氮罐 ≥ 50升

用于实验室级的器件直流参数测试、实时绘图与分析，具有高精度和亚fA级的分辨率。它提供了最先进的系统集成能力，包括完整的嵌入式PC机、Windows XP操作系统与大容量存储器。其自动记录，点击式接口加速并简化了获取数据的过程，这样用户可以更快地开始分析测试结果, 用于检测半导体器件的电学参数和特性. 测量半导体材料或器件以及或其它相关材料、器件的IV、CV特性或其它电学参数。

35

08023296

光学三维形貌测试仪

34.66

Xi-100

*

美国安捷伦

测量范围：50mm×50mm   ，分辨率：0.1um

通过光学手段显示器件的微结构三维形貌。

系统光路的精确控制、软件算法

36

10012151

气体处理系统

34.54

HEATS10

CTW600

韩国镭射公司

热处理温度：750℃，处理效率：>96.4%,尾气排放温度：<50℃

对设备尾气进行处理，可到达直接排放标准。操作简单，使用方面

淋浴及热处理控制、处理后气体检测模块。

37

04020099

半自动光纤调节对准系统

34.43

MG17MAX600

17MAX600/JBE1113/99017VIS001

英国MEIIESGRIOT

对准精度0.01um

精确检测光纤端面位置，控制光纤的移动实现精确对准，和六维相对位置调节

显微图像位置精密控制

38

08020287

偏振态综合分析仪

33.96

Polawise PSGA-101A

*

美国通用光电

长波长光特性分析，偏振特性分析

偏振分析

成熟设备

39

08021252

红外线热象仪

33.82

FLIR

GA945PL-S3/E2160/1G/WD80/7300GT

FLIR Systems INC

图像性能：微测辐射热计：320x240 像素?热灵敏度: 0.08°C?60   Hz 扫描帧频。测量功能：Accuracy: +-2% or 2°C (Within the whole operating range -15°C   to 55°C)，Range 1: -40 to +120°C?Range 2: 0 to +500°C，Option: Up to 2000°C 。LensesBuilt-in: 24°x18°with autofocus/ remote focusOptions: 7°x5.3°,12°x9°, 45°x34°, 80°x60°, close-up lenses

显示红外热图像，录制红外热图像视频，红外热图像视频回放，红外热图像视频的编辑与文件格式转换，红外热图像分析及编辑，进行红外热图像与标准图像的温度、位置或形状的差异，测定辐射率，显示温度和线温分布图

高速红外摄像头

40

14007590

分析探针台

32.84

EB-6

EB-6

美国keithley公司

5. 应力测试台部分 1） 应变模式：张应变与压应变 2） 施力支点调整范围≥95mm 3） 施力支点调整间距无段调整 4） 作用力调整行程≥ 3mm 5） 作用力同步调整  6） 可进行应力、应变量测&作用力量测 7） 最大测试尺寸至少为 80 mm * 100 mm 8） 材质铝合金&合金钢 9） 尺寸(长*宽*高) 250mm * 180   mm * 150 mm 10） 通道数应力 *1 ; 作用力 *1;  11） 应力解析度 ≤ 0.05MPa 12） 量测范围 ≥ 300MPa 13） 自带即時应力、应变计算 14） 应变测试的数据是直接从电脑上读取出来的。有一套软件供操作者读取，记录应变，应力等数据。 15） 随设备带有电脑，电脑安装有应力、应变自动软件；软件可以选择（改变）材料特性参数 Young's modules, Poison ratio，应变常规参数 GF,   Gauge Resistance, Lead wire Resistance；荧幕126. 探针台显微镜以及探针部分 1） 显微镜为进口产品 2） 显微镜放大倍数20X-400X，目镜固定 ，物镜可以调  3） 光纤光源 4） 显微镜具有CCD功能，可进行图像采集 5） 探针臂磁开关固定 6） 探针X-Y-Z行程12mm-12mm-12mm   7） 探针线性运动 8） 探针移动精度: ≤ 0.7um  9） 直流探针为钨针，针尖直径5um  10） 脉冲探针可承受不小于10M脉冲信号。 7. 数字图像采集系统。可以直接从显微镜上采集图像。 8. 图像分析软件，可以对采集图像进行测绘分析。 9. 防震桌屏蔽箱部分： 1） 气压式防震桌，需配低噪声空气压缩机；坚固的金属框架结构 2） 通过流动气压悬浮装置自动调节四角的稳定和平衡 3） 前后都有防护围挡防止手直接触碰浮动平台 4） 电学屏蔽黑箱，可屏蔽实验环境中的电学干扰以及无光源黑箱使用。 80*800 resolution；操作系统 Windows XP, VISTA,   WIN 7；

用于实验室级的器件直流参数测试、实时绘图与分析，具有高精度和亚fA级的分辨率。它提供了最先进的系统集成能力，包括完整的嵌入式PC机、Windows XP操作系统与大容量存储器。其自动记录，点击式接口加速并简化了获取数据的过程，这样用户可以更快地开始分析测试结果, 用于检测半导体器件的电学参数和特性. 测量半导体材料或器件以及或其它相关材料、器件的IV、CV特性或其它电学参数。

41

03004899

数字荧光示波器

32.26

TDS7254B

DS-(-3db2.5GHZ)

TEKTRONIX公司

4通道，采样率20GS/S，7.25GHz的有效模拟带宽和低至43PS的上升时间，波形捕获速率每秒超过4000000个，DPS信号采集技术

TDS7254B 2.5GHz数字示波器泰克高超的测量保真度，无与伦比的分析功能和通用性

自主创新研制所需关键技术,连续高速采样能力.

42

16004600

能谱仪

31.63

X-MAX20

X-MAX20

牛津仪器公司

1、能谱仪重要指标之一，能量分辨率（MnKa处）：探头优于127eV
  2、检测元素范围：Be4-Pu94
  3、有效晶体活区面积：≥10mm2

表征材料：纳米级的各种材料表征，包括金属及化合物，复合材料，薄膜等

43

10010092

超景深三维显微镜

30.14

VHK-600E

*

基恩士（香港）有限公司

三维成像

微米至宏观图像成像

成熟设备

44

04010539

可调激光光源

28.54

AQ4321D

*

日本安藤公司

CO2激光器，10.6um

热加工及激光雕刻

成熟设备

45

08010119

超级多功能标准器

27.77

5520A

*

美国福禄克公司

直流电压0~1100V，交流电压0~1100V（10Hz~500kHz），直流电流0~20A，交流电流0~20A（10Hz~30kHz）,电阻0~1100，电容190pF~11mF,功率22000w

用于校准交、直流电流、电压；校准电阻、电容、功率、相位、频率。可直支持6位半数字表的校准；20A电流输出连续工作；通过F700压力模块测量压力；相位锁定，可模拟三相功率；通过相对湿度探头测量湿度；相位精度0.05°，更大的增益带宽积能力

基于PC级的仪器控制软件

46

20014872

测试激光器

27.29

*

*

美国

CO2激光器，红外

激光雕刻、加工

成熟设备

47

08023297

台阶仪

26.68

XP-100

*

美国安捷伦

测量范围：10埃～1.2mm
  精度：1埃 设置为2.5um
        100nm 设置为1.2mm
  对测量环境要求较高，尤其对振动、噪声、空气流动、温度变化会对结果产生较大影响。

用于微结构台阶高度测试和结构表面粗糙度测试。

探针步距精确控制、承片台水平调节及步距精确控制

48

08023817

等离子去胶机

26.44

IPC3000S

*

ALLWIN21 CORP公司

PLC控制装置，等离子RF频率在13.56MHz起辉，系统功率≤2KW（0~650W可调）

去除光刻残胶及扫底模，具有自动和手动功能。

等离子均匀性控制、气体流量及温度精确控制

49

16001239

精密划片机

26.24

DS616

DS616

沈阳和研科技有限公司

主轴最大功率：1.5KW；工件尺寸范围：最大6英寸；X/Y/Z有效行程分别为：240mm/170mm/52mm;θ轴最大旋转角度：360°。

半导体及电子材料的切割。

高速旋转马达、刀片稳定性及耐磨性

50

08010087

网络分析仪

25.75

ENA5071C

*

Agilent

在测试口上的动态范围﹥123dB，测量速度39ms，集成的2和4端口，带有平衡测量能力，提供从9KHZ/100KHZ到4.5GHZ/8.5GHZ的频率选件，频率覆盖范围9KHZ-20GHZ

制造和研发工程师评测射频元器件和电路，提供同类产品中最高的射频覆盖范围和最快的速度

速度，精准度和通用性的提高

51

14010407

高频任意波形发生器

25.57

AWG5012C

5012C

泰克科技（美国）有限公司

采样率：10 MS/s to 1.2 GS/s 分辨率：14 位 有效频率输出：480 MHz 有效频率切换时间：2.1 ns 调制带宽：  调制带宽(-1dB)(典型值)： 正常输出：130MHz，直接输出：180MHz             调制带宽(-3dB)(典型值)：正常输出：230MHz，直接输出：300MHz 幅度：正常输出: –30   dBm 到17 dBm，直接输出: –30 dBm to 0 dBm 精度：0dBm 电平时，无偏置，± 0.3dB 平坦度 (典型值)：±1.0 dB, 从 10 MHz 到   480 MHz 窗口：–1.0 V 到2.7 V 幅度：0.1 Vp-p to 3.7 Vp-p 分辨率：10 mV 上升时间/ 下降时间：正常输出: 1.4 ns，直接输出: 0.95 ns 上升时间带宽：  Tr 带宽 (–1 dB) (典型值)：正常输出:   140 MHz，直接输出: 210 MHz                Tr 带宽   (–3 dB) (典型值)：正常输出: 250 MHz，直接输出: 370 MHz

提供任意波形信号，可作为参考信号及触发信号。

52

07042593

激光器

25.35

Sapphire 488 HP-200

*

美国相干公司（Coherent lnc)

Sapphire激光器采用光泵半导体（OPS）激光器技术。488nm波段最高输出功率可达1W。

488nm蓝光激光器，输出功率可调。

全固态气冷离子激光技术

53

16001221

光谱分析仪

25.30

AQ6370D-10

AQ6370D-10

YOKOGAWA ELECTRIC CORPORATION

波长范围：600～1700nm；
  *2、 适用光纤：单模光纤、多模光纤
  *3、 波长精度：最高达±0.02nm，全波段可达0.1nm；
  *4、 波长线性度：±0.01nm以上；
  *5、 波长分辨率最高可达0.02nm；
  *6、 动态范围：73dB
  *7、 测量光功率范围可达－90dBm～＋20dBm；
  *8、 偏振相关度：±0.05dB；
  9、 扫描时间0.2Min；
  *10、具备七个独立轨迹同时显示功能，有3D功能，具备光纤放大器分析功能；
  可同时显示多条曲线，曲线之间具有运算功能。
  11、可以控制可调光源进行同步扫描
  *12、采用自由空间光输入；
  13、远程控制接口：GPIB口、以太网口、串口。
  14、数据存储方式：内存、U盘或移动硬盘

激光光谱测量

54

04023255

光谱仪

24.73

SI720-700

*

美国MICRONOPTICS公司

光纤通信波长1530-1570nm

光谱分析

成熟设备

55

14009151

频谱分析仪

24.64

FSV30

10HZ~30GHZ

罗德与施瓦茨

频率范围：10HZ~30GHZ 分辨率带宽：1HZ~10MHZ 信号分析带宽：标配28MHZ DANL@1GZ  <-151dBm/HZ spec.;-154dBm/Hz Typ   DANL@20GZ  <-142dBm/HZ   spec.;-145dBm/Hz Typ DANL@30GZ    <-141dBm/HZ spec.;-144dBm/Hz Typ 二次谐波截取点：@10GHZ +80dBm 二次谐波截取点：@20GHZ +80dBm 测量速度：1000次/秒 显示屏：触摸屏

频谱测量；相位噪声测量；光电检波器带宽测量

56

04023256

拉曼放大器

24.57

F021405

*

FURUKAWAELECTRJCVO公司

通信波段信号放大55db

放大光信号

成熟设备

57

12000455

特气报警系统

24.00

midas

midas

霍尼韦尔公司

气体类型 设备型号 数量 检测范围 量程          一段报警值 二段报警值   NH3 MIDAS-K-NH3 2 0~100 Ppm 12.5 25 SiH4 MIDAS-K-SHX 2 0~20 Ppm 2.5 5 SiH2CL2   MIDAS-K-HCL 1 0~8 Ppm 1 2 O2 MIDAS-K-O2X 2 0~25 %vol 19 23 系统需求UPS电力，系统商提供UPS容量为2KVA，折损系数为0.7，待机时间为1小时

对实验室的安全进行有效实时监控。用于SiH4、NH3、NO2、CF4、SF6、C4F8、SIH2CL2等特种气体的泄露监测，能够实时监测特种气体的浓度值并记录保存。发现泄露，能及时进行报警

针对特种气体泄漏检测的高灵敏度高可靠性侦测器研制

58

20004365

频谱分析仪

23.19

86140A(9270-1370)

*

安捷伦科研有限公司

通信波段信号分析

频率分析

成熟设备

59

14009249

荧光光谱仪

22.07

Cary Eclipse G9800A

200nm-900nm

安捷伦科技有限公司

1. 光源：闪烁式氙灯，脉冲半峰宽小鱼2微秒，功率相对于连续发光时的75KW，氙灯必须只在工作时才闪烁； 2. 水平狭缝光路，采用标准比色皿（1cm光程）测试样品量最少体积0.5mL; 3. 切尼-特纳型单色器，超低杂散光； 4. 最大扫描速率：24000nm/min,可在小于3秒钟时间内完成全波长扫描； 5. 无需关闭样品室就可以测试荧光数据，样品体积大小不受仪器限制； 6. 波长范围： 激发态：200-900nm零级可选； 发射态：200-900nm零级可选； 7. 波长精度：±0.5nm(541.92nm); 8. 波长重现性：±0.2nm； 9. 灵敏度（水的Raman峰信噪比）： >750:1RMS, 350nm激发，发射和激发狭缝为10nm,平均采样时间为1秒； >500:1 RMS,500nm激发，发射和激发狭缝为10nm,平均采样时间为1秒；   10. 检出限： <1.pM荧光素（标准池）； <10pM荧光素（40UL微池）； <25Pm QBS(标准池)； 11. 激发/发射单色器配置下列自动滤光片，消除次级光和杂散光； 激发：250~395nm, 335~620nm,550~1100nm, 695~1100nm; 发射：250~395, 295~1100nm, 360~1100nm, 430~1100nm, 550nm~1100nm; 12. 狭缝宽度可调，激发/发射狭缝：1.5nm~20nm,并带有圆形狭缝；

荧光光谱仪可用于食品、饲料、生化样品、药品以及环境样品中荧光物质的定性定量分析。采用石英涂层的Schwarzschild光学系统，可同时测定荧光、磷光、化学和生物发光。软件具有扫描（激发光谱、发射光谱、3D光谱、同步光谱、等高线谱）、浓度、动力学、时间分辨以及仪器校准、性能认证等功能。

荧光测试分析、不同的药品配置以及效果等

60

06012078

傅立叶变换红外光谱仪

21.96

IRPRESTIGE-21

波速:12500-400cm-1, 分辩率:0.2-5cm-1

日本岛津

光谱范围：12500-350cm-1
  分辨率：0.2-5cm-1
  信噪比：大于4000：1（4cm-1,1分钟，2100cm-1附近，峰峰值）

在近红外、中红外和远红外测试物质透射率、吸光度谱等。

高信噪比红外光探测器；长寿命稳定的红外光源

61

08011817

油压减震器试验台

21.00

JS5-I型

*

青岛四方车辆研究所有限公司

允许最大阻尼力25KN；往复频率0～2HZ(可调)；阻尼器长度：垂向100~600, 横向100～1000   mm；垂向横向分别运行；可调滑块行程0～200mm；自动绘制减振器特性曲线

示功特性、速度特性

减振器横向与纵向示功速度特性测试

62

08020196

数据采集系统

20.54

777455-01

*

美国NI公司

400 MHz处理器, 2 GB非易失性存储介质, 128 MB DRAM内存；10/100BASE-T以太网端口, 具有配备了远程面板用户界面的嵌入式Web和文件服务器；全速USB主机端口可连接至USB闪存及其它存储设备；连接外设的RS232串口; 9 VDC到35 VDC的双电源输入

嵌入式控制器运行LabVIEW Real-Time，以实现确定性控制、数据记录和分析；cRIO-9014采用VxWorks实时操作系统(RTOS)，运行NI LabVIEW Real-Time模块，使得性能极为可靠确定。 cRIO-9014实时控制器可配合尖端VxWorks RTOS技术，对一个使用LabVIEW图形化编程工具的自定义COTS嵌入式系统，迅速进行设计、原型和部署。

高性能模块化测量仪器系统

63

15002960

数字激光干涉仪

20.50

INF100-LS

平面精度：优于λ/20球面精度：低于λ/15

成都太科光电技术有限责任公司

1. 测量原理：斐索干涉原理；
  2. 测量方式：非接触；
  3. 结果表现形式：干涉条纹图/测试报告；
  4. 标准平面镜精度：p-v:优于λ/20；
  5. 球面参照镜表面精度：p-v:优于λ/15；
  6. 连续变焦倍率：3倍；
  7. 光源：He-Ne激光器；
  8. 波长：632.8nm;
  9. 最大通光口径：100nm（平面）；
  10. 标准球面镜种类：f/1、f/1.5、f/2、f/3、f/5.6;
  11. 电源：AC210v~230v 50-60Hz;
  12. 最佳工作温度：20℃±2℃;
  13. 尺寸：650×420×210mm;
  14. 质量：30kg(主机)；

INF100-LS球面干涉仪可用于测量高精度光学平面、棱镜、球面等元件的面形精度，使用附加设备还可测量球面光学元件的曲率半径，在科学研究、精密器件加工、光学零件测试等领域有着广泛应用；